产品简介
产品特点
主要参数表:
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型号 |
FA-AXE1J |
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名称 |
类别 |
参数 |
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高精度耦合调整台 |
X轴 |
定位精度±1um,重复精度±0.2um,最小步距 50nm |
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Y轴 |
定位精度±1um,重复精度±0.2um,最小步距 50nm |
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Z轴 |
定位精度±1um,重复精度±0.2um,最小步距 50nm |
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θX轴 |
重复定位精度±0.003°,分辨率0.001°/脉冲 |
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θY轴 |
重复定位精度±0.003°,分辨率0.001°/脉冲 |
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θZ轴 |
重复定位精度±0.003°,分辨率0.001°/脉冲 |
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点胶轴精度 |
X轴 |
重复定位精度±3μm,分辨率 1μm |
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Y轴 |
重复定位精度±3μm,分辨率 1μm |
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Z轴 |
重复定位精度±3μm,分辨率 1μm |
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生产效率 |
40 秒/个产品 |
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耦合稳定性 |
耦合重复性最大不超过 0.5db |
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设备尺寸 |
1660x1000x1850mm |
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设备重量 |
600kg |
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