产品简介
硅光 FA 量产级智能耦合装备，专为 400G/800G/1.6T/3.2T 硅光模块量产提供超高效率、超稳定、一键式全自动的光学耦合、点胶与固化解决方案，显著提升UPH 与良率。提供一键式防撞保护功能，防紫外保护功能。
产品特点
1. 支持 4/8/12/16 及更多通道全自动光学耦合，UPH 行业领先，适配 400G 至 3.2T 光模块批量生产；
2. 单/双六轴高精度平台搭载直线电机，百纳米更优的精度，支撑优于 0.5dB 的耦合重复性（插拔）；
3. nL（纳升）级胶量控制+可编程 UV 固化工艺，搭配全自动胶针校准及自动溢胶处理 ，良品率显著提升；
4. 现场多级分层管理一键切换 ，深刻理解工程至生产需求，核心功能模块化，友好快捷的工艺方案编辑及一键生产盲操执行；
5. 配备灵活的工艺开发接口，高解耦软件框架，支持客户工艺快速自主更新；
6. 独特通道平衡算法，最佳平坦区优化，实现产品整体最佳工艺性能；
7. 兼容设计的物料治具，支持在线不停机换料，搭载“彩虹换型”技术实现多代产品的快速灵活换线；
8. 实时防撞保护+紫外安全隔离， 设备、产品、人员三重安全风险防护，多维生产安全保障；
9. 高刚性全大理石平台、低频高效隔振系统、洁净温控系统，三重耦合环境保障为耦合稳定护航。
主要参数表
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名称 |
类别 |
参数 |
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高精度耦合调整台 |
X轴 |
定位精度±0.25um,重复精度±0.1um，最小步距 1nm
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Y轴 |
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Z轴 |
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θX轴 |
重复定位精度±0.003°，分辨率 0.001°/脉冲 |
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θY轴 |
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θZ轴 |
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点胶轴精度 |
X轴 |
重复定位精度±3μm，分辨率 1μm |
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Y轴 |
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Z轴 |
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生产效率 |
4-5 分钟/个产品
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耦合稳定性 |
耦合重复性最大不超过 0.5db
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设备尺寸 |
1300x1000x1850mm
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设备重量 |
600kg
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