产品简介
专为高校、研究所及产线实验室设计的 6 英寸晶圆测试解决方案。以模块化架构为核心，紧凑灵活，兼容主流显微镜，提供精准操控与稳定吸附，满足多样化半导体测试需求，是追求实用性与高性价比的理想选择，并支持未来升级。
产品特点
1. 模块化设计，灵活扩展： 核心架构支持个性化定制，提供多种外观构型，并预留升级空间，轻松适应未来测试需求变化。
2. 精准操控，稳定可靠： 精密丝杆传动卡盘（无回程差设计） +360°旋转及微调，实现亚微米级精准定位与角度调整，测试结果
可靠。
3. 真空吸附升级，针座更稳： 全新表面处理针座平台，显著增大摩擦力，确保探针座吸附稳固不移位，测试过程更安心。
4. 独立真空控制，灵活适配： 卡盘每个真空通道均可独立开关，灵活应对不同尺寸、形状的晶圆或芯片，夹持更智能。
5. 丰富卡盘选配，满足专业： 可选配镀金卡盘（高导电）、陶瓷卡盘（耐高温/绝缘） 等，满足多样化的电性测试环境要求。
6. 显微镜兼容无忧：无缝兼容主流连续变倍体视显微镜或高清视频显微镜，观测清晰便捷。
7. 实验室高性价比之选： 结构紧凑节省空间，配置丰富实用，在提供专业级手动测试精度与功能的同时，具备突出的性价比，是实
验室预算的明智投入。
主要参数表：
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型号 |
FA-MT3C |
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名称 |
类别 |
参数 |
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卡盘常温标准 |
卡盘尺寸 |
6″ |
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样品固定方式 |
真空吸附，环形真空吸附/多孔吸附 |
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背电极测试 |
有，样品台独立悬空，预留4mm香蕉头插孔 |
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卡盘材质 |
不锈钢 |
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卡盘移动平台 |
X-Y行程 |
6英寸*6英寸 |
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移动精度 |
10 μm |
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Z轴行程/移动精度 |
10mm/10μm |
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Theta行程 |
可360°粗调；微调角度10° |
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针座平台 |
材质 |
430不锈钢镀镍，与探针座之间具备更强吸附力 |
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平台尺寸 |
550mm*360mm |
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针座数量 |
最多可放置6针座 |
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针座定位方式 |
磁力吸附 |
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光学系统 |
显微镜类型 |
可选配：金相显微镜/体视显微镜/单筒视频显微镜 |
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放大倍率 |
16X-100X（可选配） |
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CCD像素 |
可选:1200W（数字）/2000W（数字） |
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显微镜控制行程 |
显微镜调焦架控制可360度旋转，Z轴：45mm |
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探针座 |
X-Y-Z行程 |
12mm-12mm-12mm |
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移动精度 |
10μm / 2 μm / 0.7μm |
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探针夹具 |
线缆 |
三轴线/同轴线 |
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探针固定方式 |
弹簧固定/管状固定带锁紧 |
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接头形式 |
BNC/三轴/TNC/ SMA/3.5mm/2.92mm/N型/香蕉头/鳄鱼夹等 |
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漏电精度 |
10PA / 100fA（需配置屏蔽箱） |
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设备尺寸 |
560x470x620mm（长x宽x高） |
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设备重量 |
约50kg |
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