产品简介
FA-MT3C系列手动探针台是一款支持最大6英寸晶圆测试的基本型探针台，结构紧凑，配置丰富，可搭配中高端体式或视频显微镜，实用且性价比高，非常适合高校、研究机构、半导体工厂等实验室的半导体测试应用，模块化结构设计，多种外观构型，支持后期灵活扩展升级。
产品特点
2、 卡盘平移台采用精密丝杆传动结构，无回程差设计，定位精准。
3、 卡盘可选配镀金卡盘、陶瓷卡盘等。
4、 卡盘每个真空通道均可独立控制。
5、 全新表面处理针座平台，摩擦力大，针座吸附更稳定。
6、 兼容连续变倍体视显微镜或视频显微镜。
7、 台面可个性化定制，满足特殊测试需求。
主要参数表：
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型号 |
FA-MT3C |
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名称 |
类别 |
参数 |
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卡盘常温标准 |
卡盘尺寸 |
6″ |
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样品固定方式 |
真空吸附，环形真空吸附/多孔吸附 |
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背电极测试 |
有，样品台独立悬空，预留4mm香蕉头插孔 |
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卡盘材质 |
不锈钢 |
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卡盘移动平台 |
X-Y行程 |
6英寸*6英寸 |
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移动精度 |
10 μm |
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Z轴行程/移动精度 |
10mm/10μm |
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Theta行程 |
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针座平台 |
材质 |
430不锈钢镀镍，与探针座之间具备更强吸附力 |
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平台尺寸 |
550mm*360mm |
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针座数量 |
最多可放置6针座 |
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针座定位方式 |
磁力吸附 |
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光学系统 |
显微镜类型 |
可选配：金相显微镜/体视显微镜/单筒视频显微镜 |
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放大倍率 |
16X-100X（可选配） |
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CCD像素 |
可选:200W（数字）/500W（数字）/650W（数字） |
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显微镜控制行程 |
显微镜调焦架控制可360度旋转，Z轴：45mm |
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探针座 |
X-Y-Z行程 |
12mm-12mm-12mm |
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移动精度 |
10μm / 2 μm / 0.7μm |
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探针夹具 |
线缆 |
三轴线/同轴线 |
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探针固定方式 |
弹簧固定/管状固定带锁紧 |
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接头形式 |
BNC/三轴/TNC/ SMA/3.5mm/2.92mm/N型/香蕉头/鳄鱼夹等 |
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漏电精度 |
10PA / 100fA（需配置屏蔽箱） |
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设备尺寸 |
560x470x620mm（长x宽x高） |
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设备重量 |
约50kg |
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