产品简介
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
半自动探针台，可用于3寸、4寸、5寸、6寸、8寸、12寸尺寸单元大小的晶圆检测，对晶片实现自动对位测试，操作简单，快捷测试精度高，具有MAP显示功能。它与测试仪连接后，能自动完成对各种晶体管芯的电参数测试及功能测试 。
产品特点
1、 提供了清晰直观的触屏操作页面，手触点击即可完成对晶片的自动对位测试。
2、 具有自动扫描对位功能，对位精度高、速度快，动态map图显示测试过程。
3、 具有X、Y、Z三轴运动结构，操作软件能对垂直度、平面度进行精度补偿，保证机器的控制精度和工作的稳定性。
4、 具有Z轴行程分段运动功能，其分为基本高度、接触高度、接触缓冲、过冲高度和折回高度，并且具有探边功能，防止测试过程中探针对芯片的划伤和探针与芯片的接触不良。
5、 具有圆形测试，范围重测，探边测试，范围打点，回收测试，矩形测试和脱机打点多种测试功能。
6、 自动对位时间：≤15s
主要参数表：
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型号 |
FA-AT3C |
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名称 |
类别 |
参数 |
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探针台本体 |
适用wafer规格 |
0-12″，厚度0mm~2.0mm |
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XYZ运动分辨率 |
0.1um |
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XYZ重定位精度 |
≤±1um |
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XYZ定位精度 |
≤±2um |
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XY移动速率 |
≤50mm/s |
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Z移动速率 |
≤10mm/s |
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反馈系统 |
50nm光栅反馈 |
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θZ行程 |
±10° |
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θZ运动分辨率 |
0.00018° |
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θZ重复精度 |
0.002° |
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θZ定位精度 |
0.005° |
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θZ速率 |
≤10°/s |
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温控（选配） |
温度范围 |
-60-300℃ |
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温控精度 |
温度分辨率 ： 0.01°C |
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最低控温速率 |
±0.1°C /小时 |
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制冷方式 |
压缩机制冷 |
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针座平台 |
材质 |
镀镍，与探针座之间具备更强吸附力 |
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显示系统 |
显微镜成像系统 |
体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统 |
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倍率范围 |
15X~100X/60X~420X/20X~4000X |
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显微镜行程 |
具备高刚性龙门架结构 ， XYZ行程分别为50㎜*50㎜*100㎜，精度1um |
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CCD 成像系统 |
200万/500万像素，帧率 60fps |
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其它 |
选件 |
屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率 |
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效率 |
100分钟/个产品（12寸晶圆） |
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设备尺寸 |
1300x1100x1700mm（长x宽x高） |
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设备重量 |
1300kg |
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