探针台本体

适用wafer规格

0-12″，厚度0mm~2.0mm

XYZ运动分辨率

0.05um

XYZ重定位精度

≤±0.5um

XYZ定位精度

≤±2um

XY移动速率

≤50mm/s

Z移动速率

≤10mm/s

反馈系统

50nm光栅反馈

θZ行程

±10°

θZ运动分辨率

0.00018°

θZ重复精度

0.002°

θZ定位精度

0.005°

θZ速率

≤10°/s

温控（选配）

温度范围

-60-300℃

温控精度

温度分辨率 ： 0.01°C

最低控温速率

±0.1°C /小时

制冷方式

压缩机制冷

针座平台

材质

镀镍，与探针座之间具备更强吸附力

显示系统

显微镜成像系统

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统

倍率范围

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

显微镜行程

具备高刚性龙门架结构，XYZ行程分别为50㎜*50㎜*100㎜，精度1um

CCD 成像系统

1200 万/2000 万像素

其它

选件

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率

效率

100分钟/个产品（12寸晶圆）

设备尺寸

1300x1100x1700mm（长x宽x高）

设备重量

600kg